故障分析と敏感材料の研究に用いられる高真空原子間力顕微鏡

高真空環境でのナノ測定は、データの感度と分解能を大幅に向上させ、材料分析能力を向上させることができる。高真空走査環境は窒素N 2や乾燥環境条件よりも正確性と安定した繰り返し性のあるデータであるため、ユーザーは半導体材料や故障解析などの応用において各種ドーピング濃度とフィードバック信号の異なる応答を測定することができる。

高真空条件下で走査拡散抵抗顕微鏡測定を実行することにより、所望の針先−試料間の相互作用力を低減し、それにより試料及び針先への損傷を大幅に低減することができる。これにより、各針先の寿命を延長し、スキャンをより低コストで便利にし、空間分解能と信号対雑音比を向上させることでより正確な結果を得ることができる。そのため、NX-Hivacを用いた高真空走査拡散抵抗顕微鏡測定は、故障解析エンジニアがそのスループットを増加させ、コストを削減し、正確性を高める賢明な選択と言える。

Park Hivacマネージャ

NX-Hivac真空自動制御

Hivacマネージャは、論理的かつ視覚的にクリックして最適な真空条件の抽気と排気プロセスを制御することにより、高真空を実現します。各プロセスは色と図示の変化によって直感的に監視され、1クリックで真空の操作順序を心配する必要はありません。原子間力顕微鏡の使用をより迅速かつ簡便にする真空制御ソフトウェア。

高度な自動化機能

NX-Hivacは多くの機能を備えており、ユーザー入力を最大化することができます。言い換えれば、実験室の生産性を向上させるために、より迅速にスキャンすることができます。

電子制御ステージを備えたStepScan自動スキャン

StepScanにより、ユーザはデバイスを実装からプログラムすることができ、迅速かつ容易にマルチエリアイメージングを行うことができる。NX-Hivacにより、5ステップでサンプルスキャンを完了できます。スキャン、カンチレバーのリフティング、電動プラットフォームの移動からユーザー定義座標領域、針送り、繰り返しスキャンまでです。これにより、生産性を大幅に向上させ、ユーザー入力を最大化することができます。

電動レーザアライメント

Park電動レーザアライメントにより、ユーザは入力することなく自動測定ルーチンをシームレスに接続することができる。プローブを交換する際にレーザーがカンチレバーに向けられている、先進的なプレコリメートカンチレバーラックを使用しています。位置決めつまみを調整するだけで、X軸とY軸上にレーザー光点を任意に位置決めし、最適な位置に達することができる。

精度と生産性の向上

NX−Hivacは世界で最も精確な高性能原子間力顕微鏡であると同時に、故障解析に用いられる最も簡単で便利な原子間力顕微鏡の一つでもある。Park NX-Hivacは、独自の生産性を向上させ、信頼できる結果を確実に得ることができます。

閉ループXYおよびZ軸スキャナ

2つの独立した閉ループXYおよびZ軸フレキシブルスキャナを使用すると、スキャンの精度が高いことを確認できます。NX−Hivacは、全走査範囲における面外運動距離が1 nm未満になるように、低残留曲げ平面および直交XY軸走査を提供する。また、NX-Hivacの特色として、非線形で0.5%未満の15μm走査範囲の高速Z軸スキャナがあり、ソフトウェアの後処理を行うことなく正確な2次元と3ビット測定を得ることができる。

低ノイズXYZ軸位置センサ

NX−HivacはPark原子間力顕微鏡業界をリードする低雑音Z軸検出器機能を有し、サンプルの形態を正確に測定することができ、同時に低雑音XY軸閉ループ走査は前後走査ギャップを走査範囲の0.15%まで低下させる。

24ビットデジタル電子制御装置

NX-Hivacの大きな特徴は、NXシリーズの電子コントローラが時間の無駄を最小化し、精度を最大化できることです。私たちのコントローラはフルデジタル、24ビット高速デバイスで、ユーザーはそれを利用して、私たちの真の非接触（True Non-Contact）モードを含む一連のスキャンを実行することができます。コントローラは低ノイズ設計と高速処理部品を備えており、精密電圧と電流測定及びナノスケールイメージングに最適です。組み込み型電子製品はデジタル信号処理の特徴を同時に持ち、ユーザーは簡単に測定値とイメージングを分析することができる。

技術指標